第(2/3)页 “不行, KBBF激光晶体造不了光刻机, KBBF晶体的激光太勐了,射出的激光(EUV)极深紫外光太过锋利。 一不小心就会损坏整个芯片无法使用,除非我们的控制精度与对准成像系统能达到让人惊讶的程度,否则极深紫外光我们绝对无法使用。” 目前市面上的光刻机采用的是紫外光源,紫外光源分为紫外光(EV),深紫外光(DUV),极紫外光(EUV)。 其中光源越到后面波长就越短,光刻的刀也就越锋利,对于精度的控制要求就越高。 所以目前世界上没有光刻机采用极深紫外光(EUV),作为光源制作光刻机。 毕竟以目前几十纳米的制程工艺,也不需要这样高精密的光刻机,目前绝大部分光刻机还是使用紫外光(EV)。 只有最前沿的45纳米制程工艺,才使用EUV之前的深紫外光源,也既是DUV光刻机。 至于更下一步EUV光刻机,那目前更是没有,之所以没有,这是因为目前没有这方面的需求。 当然真实原因是想研发这样的EUV光刻机需要的成本也太高,不下于从零开始设计研发,所以目前市面上并没有这样的EUV光刻机出现。 “没错,光刻机可不容易制造,你可能是其他领域的,所以有些想当然了,光是镜片就能把我们卡死。” 此时人群前排的一个博士,也说出了想造光刻机不容易。 在他看来光刻机最难的就是镜头部分。 光刻机需要的镜面误差十分之小,镜面误差不能大于零点零五微米。 这误差的范围用个形象的比喻,如果把镜面误差比喻成天涯海角岛的话,那么整个天涯海角岛的平整度误差不能大于十毫米! 而最为恐怖的是这样的镜片不只是一个,因为镜片这东西其实是有成像误差的,这成像误差在光刻生产环节的影响十分之严重。 因为偏差一点就会把整个芯片损坏,毕竟那可是几十纳米的大小,光照到了不该照的地方,最后制造成成品时肯定会短路! 所以为了解决成像误差,光刻机就需要非常多的镜片来解决成像误差的问题。 这也是为什么很多昂贵的摄像机或相机的镜头,为什么会那么长。 原因其实和光刻机面临的问题一样,为了解决成像误差的问题,所以相机镜头里面有着非常多的镜片! 这些镜片都是高精度镜片,相互之间精度要求非常之高,所以会出现一个镜头会比相机还贵的现象。 而且别的不说,就说后世的手机镜头模块里面,其实有着五到六片镜片! 而光刻机自然比相机与手机镜头要求高,所以现在的光刻机随着越来越深入几十纳米的层次。 要求越来越高,镜片的数量也越来越多,目前的光刻机镜片已经达到了十六到二十个镜片。 此时的人们不知道的是,在后世能生产几纳米芯片的EUV光刻机镜片已经达到了二十九个! 这也是为什么林轩情愿花费一亿资金,也要把那堪称破烂的凤凰公司收购的原因。 因为这些镜片的要求太过严苛,为了那几个专精于镜面打磨的八级工,林轩也是舍得出一亿的资金把他们买下来! “我们还是让林轩先生来决定到底怎么样吧。” 人群的前排中,王院士看着隐隐有开始争吵的趋势的诸位博士们与研究生们,他缓缓开口说着。 第(2/3)页